증착 기술로서 스퍼터링의 본질은 타겟으로 알려진 고체 소스에서 기판으로 물질을 전달하여 박막을 형성하는 능력입니다.순도의 스퍼터링 타겟 결과 필름의 품질과 특성에 직접적인 영향을 미치기 때문에 가장 중요합니다.99.9% ~ 99.9999% 범위의 순도를 자랑하는 고순도 스퍼터링 타겟은 박막 성능을 저하시킬 수 있는 오염 물질을 최소화하도록 설계되었습니다.
고순도 표적을 차별화하는 중요한 측면 중 하나는 '낮은 침' 특성입니다.스피팅(Spitting)이란 스퍼터링 중에 타겟 표면에서 미세한 크기의 입자가 방출되는 것을 말하며, 이로 인해 박막에 결함이 발생할 수 있습니다.로우 스핏 타겟은 입자 방출을 최소화하기 위해 세심한 제조 공정과 엄격한 품질 관리 조치를 거쳐 필름 균일성과 무결성을 향상시킵니다.
활용의 장점 고순도 스퍼터링 타겟 다면적이다:
초석이 되는 이점은 우수한 품질의 필름을 생산할 수 있는 능력에 있습니다.높은 순도는 원치 않는 불순물이 박막에 침투하지 않도록 하여 전기적, 광학적, 기계적 특성을 보존합니다.
고순도 재료는 조밀하고 균일한 미세 구조로 인해 스퍼터링 중에 소모율이 더 낮습니다.이는 타겟 수명 연장과 타겟 교체를 위한 가동 중지 시간 감소로 이어져 생산 효율성을 최적화합니다.
전자 및 광전자 공학에 사용되는 귀금속 합금부터 생체 의학 장치용 특수 화합물에 이르기까지 고순도 타겟은 엄격한 표준을 요구하는 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
고순도 타겟에 대한 초기 투자는 표준 옵션에 비해 높을 수 있지만 수명이 길고 결함 없는 필름을 생산할 수 있는 능력은 재료 낭비 감소와 제품 성능 향상을 통해 시간이 지남에 따라 비용 절감으로 이어집니다.
고순도 스퍼터링 타겟의 혁신은 단순히 순도 수준 향상에만 국한되지 않습니다.이는 특정 응용 분야에 대한 맞춤 구성으로 확장됩니다.
전자 장치의 크기가 계속 작아지고 강력해지는 시대에 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt)과 같은 고순도 귀금속 합금은 뛰어난 전도성과 신뢰성을 갖춘 부품을 제조하는 데 중요한 역할을 합니다.
최적의 광 흡수 특성을 지닌 박막이 필요한 태양광 패널의 경우 고순도 CIGS(구리 인듐 갈륨 셀렌화물) 타겟은 태양 전지 효율을 향상시키는 효율적인 경로를 제공합니다.
의료 기기의 생체 적합성 코팅은 환자 안전을 위해 가장 중요합니다.고순도 티타늄(Ti) 타겟은 내구성이나 기능성을 저하시키지 않으면서 이식형 장치에 탁월한 생체 적합성을 제공합니다.
